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J-50MUV-248激光能量計(jì)

J-50MUV-248準(zhǔn)分子激光激光能量計(jì)探頭相干Coherent

一、產(chǎn)品介紹

J-50MUV-248是一款熱釋電激光能量計(jì)探頭,帶有 MaxUV 涂層和擴(kuò)散器,用于測(cè)量高達(dá) 200 pps 的 500 μJ 至 1J 的激光脈沖,有效區(qū)域直徑為 50mm, 光譜范圍為193 至 266 nm 。

并針對(duì) 193 nm 的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器進(jìn)行了優(yōu)化。該傳感器直接校準(zhǔn)在 248 nm,并包括從 193 nm 到 266 nm 的光譜補(bǔ)償。它端接在 SmartProbe DB25 電纜中,可直接與 FieldMaxII-TOP、FieldMaxII-P、LabMax-TOP 和 LabMax-Pro SSIM 儀表兼容。

● 193 至 266 nm 光譜范圍

● 有效區(qū)域直徑 50 mm

● 500 μJ 至 1J 能量范圍

● 200 pps 重復(fù)率操作

二、產(chǎn)品規(guī)格

型號(hào)J-50MUV-248  不帶擴(kuò)散器J-50MUV-248  帶擴(kuò)散器
能量范圍500 μJ to 1 J500 μJ to 1 J
噪聲等效能量<16 μJ<16 μJ
波長(zhǎng)范圍0.19 to 2.1 μm0.19 to 0.266 μm
有效面積直徑50 mm50 mm
最大平均功率10 W15 W
最大脈沖寬度86 μs86 μs
最大重復(fù)率200 pps200 pps
最大能量密度260  (at 248 nm, 10 ns)520  (at 248 nm, 10 ns)
探測(cè)器涂層MaxUVMaxUV
擴(kuò)散器NoDUV
校準(zhǔn)波長(zhǎng)248 nm248 nm
校準(zhǔn)不確定度 (k=2)±3 %±3 %
能量線性%±3 %±3 %
電纜長(zhǎng)度2.5 m2.5 m
電纜類型J DB-25J DB-25
零件編號(hào)11462431110572

三、尺寸圖

J-50MUV-248尺寸圖