一、產(chǎn)品介紹
J-25MUV-248 是一款熱釋電激光能量計(jì)探頭，用于測(cè)量高達(dá) 500 pps 的 90 μJ 至 100 mJ 的激光脈沖，探測(cè)器有效區(qū)域直徑為25 mm，光譜范圍為0.19 至 2.1 μm 。該探頭可以接在 USB 電纜上，也可直接與 PC 連接 。
采用 MaxUV 涂層，并針對(duì) 193 nm 的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器進(jìn)行了優(yōu)化。該傳感器直接校準(zhǔn)在 193 nm，并包括 0.19 至 2.1 μm 的光譜補(bǔ)償。
● 0.19 至 2.1 μm 光譜范圍
● 有效區(qū)域直徑 25 mm
● 90 μJ 至 100 mJ 能量范圍
● 500 pps 重復(fù)率操作
二、產(chǎn)品規(guī)格
| 型號(hào) | J-25MUV-193 不帶擴(kuò)散器 |
| 能量范圍 | 50 μJ to 100 mJ |
| 噪聲等效能量 | <2 μJ |
| 波長(zhǎng)范圍 | 0.19 to 2.1 μm |
| 有效面積直徑 | 25 mm |
| 最大平均功率 | 5 W |
| 最大脈沖寬度 | 43 μs |
| 最大重復(fù)率 | 500 pps |
| 最大能量密度 | 200 (at 193 nm, 10 ns) |
| 探測(cè)器涂層 | MaxUV |
| 擴(kuò)散器 | No |
| 校準(zhǔn)波長(zhǎng) | 193 nm |
| 校準(zhǔn)不確定度 (k=2) | ±3 % |
| 能量線性% | ±3 % |
| 電纜長(zhǎng)度 | 2.5 m |
| 電纜類型 | J DB-25 |
| 零件編號(hào) | 1110741 |
三、尺寸圖
