激光的主要測(cè)量設(shè)備是光功率計(jì)(或激光功率計(jì))。它測(cè)量光束中的光功率(每單位時(shí)間傳遞的能量)。通常，當(dāng)接收到具有高脈沖重復(fù)率的脈沖串時(shí)，它僅顯示平均功率。其他稱為光能計(jì)的儀器測(cè)量脈沖能量。

大多數(shù)功率計(jì)都基于熱檢測(cè)器的原理：它們通過帶有黑色涂層的吸收器結(jié)構(gòu)將光功率轉(zhuǎn)換為熱功率。他們使用熱電堆來測(cè)量由此產(chǎn)生的溫升(或者實(shí)際上是吸收器和支架之間的溫差)。熱功率計(jì)適用于大約 10 mW 到幾千瓦之間的平均功率。熱功率計(jì)精度適中，靈敏度與波長(zhǎng)無(wú)關(guān)，而且速度相對(duì)較慢。

光功率計(jì)也可以用光電二極管制成，通?；诠?、用于近紅外的鍺和砷化銦鎵，盡管后者可能很昂貴。當(dāng)激光指向光電二極管檢測(cè)器時(shí)，光會(huì)產(chǎn)生與光強(qiáng)度成正比并取決于波長(zhǎng)的電流。光電二極管光功率計(jì)可以測(cè)量微瓦級(jí)甚至更低的功率，并且可以通過合適的衰減器測(cè)量更高的光功率。但它們比熱功率計(jì)更脆弱，因?yàn)樗鼈兏菀妆桓吖鈴?qiáng)度損壞。

激光功率計(jì)最常見的規(guī)格包括平均功率、功率密度、能量、能量密度、重復(fù)率等。儀表制造商通常建議用戶在測(cè)量其功率之前讓激光器達(dá)到穩(wěn)定點(diǎn)，通常在 20 到 30 分鐘之間，因?yàn)楫?dāng)激光器達(dá)到平衡時(shí)，光學(xué)元件的特性往往會(huì)發(fā)生變化。其它建議包括確保光束為儀表光學(xué)孔徑的 40% 到 60%，因?yàn)楣馐?huì)增加檢測(cè)器在測(cè)量過程中損壞的可能性。對(duì)于基于光電二極管的設(shè)備也是如此。即使在發(fā)生損壞之前，也可能存在導(dǎo)致讀數(shù)錯(cuò)誤的局部飽和效應(yīng)。

同樣要記住，基于熱的檢測(cè)器通常具有僅對(duì)一種特定激光波長(zhǎng)有效的 NIST 可追蹤靈敏度值。探測(cè)器光譜范圍內(nèi)其他地方的激光需要一個(gè)波長(zhǎng)校正因子。校正通常是自動(dòng)的，但也可以是手動(dòng)過程。

基于光電二極管的儀表也可以處理很寬的波長(zhǎng)范圍。那些帶有硅基二極管的二極管通常在近紫外到略高于 IR-A 的范圍內(nèi)工作，但具有不同的響應(yīng)度。

電氣噪聲設(shè)定了最小測(cè)量范圍，噪聲通常來自傳感器頭。制造商通常將最低范圍設(shè)置為使測(cè)量不確定性保持在最大功率以下至少 10 至 20 dB?；诠怆姸O管的功率傳感器比熱傳感器更靈敏——它們的最低測(cè)量范圍通常在微瓦級(jí)或更低。像這樣的敏感測(cè)量通常意味著在黑暗的實(shí)驗(yàn)室中工作。

對(duì)于特定測(cè)量范圍內(nèi)接近最大值的功率，典型的測(cè)量精度約為 ±3% 或 ±5%。遠(yuǎn)低于最大值的測(cè)量值可能不太準(zhǔn)確。

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