在某些情況下,光束或聚焦光斑的直徑約為幾十微米,在光束輪廓分析時需要特別注意。例如支架切割,其中高功率激光聚焦到一個小點,該點可能小于 10 微米??梢?span style="color: rgb(255, 0, 0);">使用光束輪廓儀:CCD 相機或掃描狹縫輪廓儀,每種類型都有優(yōu)點和缺點。
一、CCD相機優(yōu)缺點
CCD相機通常用于許多光束輪廓分析應(yīng)用,因為它們可以對激光束進行完整的“實時”高質(zhì)量測量。然而,使用CCD相機對如此小的光束進行輪廓分析存在以下幾個挑戰(zhàn):
分辨率
CCD光束輪廓儀使用數(shù)千或數(shù)百萬個CCD像素的2D陣列測量光束的空間強度分布。為了使相機光束輪廓儀能夠高分辨率地顯示強度的空間變化,光束直徑必須明顯大于陣列中像素之間的間距。經(jīng)驗法則是光束必須至少比像素間距大 10 倍,最好是 100 倍或更多。
通過在剖析小點光束之前適當(dāng)放大它,可以很容易地克服這個問題。
損傷閾值
例如在支架切割以及許多其他材料加工激光應(yīng)用中,激光束不僅非常小,而且具有非常高的功率。將光束聚焦到小點會產(chǎn)生極高的功率密度,這很容易達到每平方厘米兆瓦的量級。如此高的功率密度水平足以切割鋼甚至金剛石,但很容易損壞相機系統(tǒng)。CCD可以在不損壞/飽和的情況下處理的直接功率密度約為每平方厘米微瓦。
雖然擴大光束會降低功率密度,但通常不會將其降低到CCD相機損壞閾值以下。剖析光束需要適當(dāng)?shù)乃p。
將這些組件組合在一起以衰減光束可能需要特別注意。光束路徑中的單個分束器以比平面 P 偏振分量更高的強度反射垂直 S 偏振分量。偏振的差異可能導(dǎo)致測量不可靠。用戶可能有興趣使用兩個分束器來平衡 S 和 P 反射偏振。。
二、掃描狹縫優(yōu)缺點
掃描狹縫光束輪廓儀可用于非常小的光斑,具體取決于掃描狹縫尺寸。
使用掃描狹縫,通常不需要或幾乎不需要衰減,因為狹縫充當(dāng)物理衰減器;一次只有很小一部分光束擊中傳感器。但是,掃描狹縫有兩個缺點:
缺乏細節(jié)
使用掃描狹縫無法看到光束二維強度分布的全部細節(jié)。與相機相反,掃描狹縫不能提供光束的完整“實時”圖像。掃描狹縫的軟件使用一種算法來創(chuàng)建光束強度分布的精確近似值。近似值可以很好地可視化梁的一般尺寸和形狀,但可能缺乏細節(jié)。因此,它的主要應(yīng)用是高斯類型的激光束直徑測量。
慢脈沖激光器
掃描狹縫光束輪廓儀是一種機械系統(tǒng),它對光束上的強度進行采樣,并使用樣本來構(gòu)建光束輪廓強度的分段圖像。為了使用掃描狹縫輪廓儀獲得準確的測量結(jié)果,在狹縫掃過光束期間必須有足夠數(shù)量的脈沖,以生成有意義的輪廓。掃描狹縫可以測量的最小激光脈沖速率取決于光束大小和掃描速度。通常,脈動速率必須至少為 1 KHz,最好更高。
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