一、產(chǎn)品介紹
J-50MUV-193 能量傳感器采用 MaxUV 涂層，用于測(cè)量 200 μJ 至 250 mJ 的激光脈沖，最高可達(dá) 200 pps。并針對(duì) 193 nm 的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器進(jìn)行了優(yōu)化。該傳感器直接校準(zhǔn)在 193 nm，并包括從 193 nm 到 2.1 μm 的光譜補(bǔ)償。
J-50MUV-193 能量傳感器端接在 USB 電纜上，可直接與 PC 連接?？梢允褂么笮蜕崞鱽?lái)通過(guò)增加平均功率能力來(lái)擴(kuò)展 EnergyMax 傳感器的能量和重復(fù)率。
● 19 至 2.1 μm 光譜范圍
● 有效區(qū)域直徑 50 毫米
● 200 μJ 至 250 mJ 能量范圍
● 200 pps 重復(fù)率操作
二、產(chǎn)品參數(shù)
| 型號(hào) | J-50MUV-193 w/o Diffuser（無(wú)擴(kuò)散器） | J-50MUV-193 w/ Diffuser（有擴(kuò)散器） |
| 能量范圍 | 125 μJ - 250 mJ | 125 μJ - 250 mJ |
| 噪聲等效能量 | <4 μJ | <4 μJ |
| 波長(zhǎng)范圍 | 0.19 - 2.1 μm | 0.19 - 0.266 μm |
| 有效面積直徑 | 50 mm | 50 mm |
| 最大平均功率 | 10 W | 18 W |
| 最大脈沖寬度 | 86 μs | 86 μs |
| 最大重復(fù)率 | 200 pps | 200 pps |
| 最大能量密度 | 200 (at 193 nm, 10 ns) | 400 (at 193 nm, 10 ns) |
| 探測(cè)器涂層 | MaxUV | MaxUV |
| 擴(kuò)散器 | No | DUV |
| 校準(zhǔn)波長(zhǎng) | 193 nm | 193 nm |
| 校準(zhǔn)不確定度 (k=2) | ±3 % | ±3 % |
| 能量線性 | ±3 % | ±3 % |
| 電纜長(zhǎng)度 | 2.5 m | 2.5 m |
| 電纜類型 | J DB-25 | J DB-25 |
| 零件編號(hào) | 1146237 | 1110575 |
三、尺寸圖
